[发明专利]用于光刻设备的控制系统和方法有效
| 申请号： | 201680082269.6 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN108702229B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | H.T.斯蒂恩斯特拉 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H04J3/06 | 分类号： | H04J3/06;G06F13/40;G06F1/14;H04L7/00;G03F7/20;H01J37/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于在第一时基中的第一开始时间值初始化第一模块(120)中的第一操作的方法，该方法包括生成时钟信号(402,116)，基于该时钟信号(116)在第一模块(120)中生成第二时基(403)，确定第二时基中的第二同步值(405)，确定与第二时基中第二同步值对应的第一时基中的第一同步值(406)，基于第一时基中的第一同步值和开始时间值确定第二时基中的开始触发值(410)，并基于第一模块(120)中第二时基的开始触发值和当前值来初始化第一模块(120)中的第一操作(411)。 | ||
| 搜索关键词： | 时基 第一模块 时钟信号 初始化 触发 光刻设备 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于在第一时基中的开始时间值处初始化第一模块(120)中的第一操作的方法，该方法包括：生成时钟信号(402,116)；基于所述时钟信号(116)在所述第一模块(120)中生成第二时基(403)；确定所述第二时基中的第二同步值(405)；确定与所述第二时基中的第二同步值对应的第一时基中的第一同步值(406)；基于所述第一时基中的第一同步值和开始时间值确定所述第二时基中的开始触发值(410)；和基于所述第一模块(120)中的第二时基的开始触发值和当前值，初始化所述第一模块中的第一操作(411)，其中所述第二时基与所述第一时基不同。
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