[发明专利]柔性显示装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201680083178.4 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108886110B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 張震;李秀熙 | 申请（专利权）人： | 庆熙大学校产学协力团 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32;H01L29/786 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供柔性显示装置及其制造方法。本发明的柔性显示装置的制造方法包括：在载体基板上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第一聚酰亚胺类层的步骤；在第一聚酰亚胺类层上形成氧化物薄膜晶体管阵列的步骤；在氧化物薄膜晶体管阵列上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第二聚酰亚胺类层的步骤；在第二聚酰亚胺类层上形成有机发光二极管的步骤；以及去除载体基板的步骤，在形成氧化物薄膜晶体管阵列的步骤中，以使上述氧化物薄膜晶体管阵列来位于上述第一聚酰亚胺类层与上述第二聚酰亚胺类层之间的方式形成上述氧化物薄膜晶体管阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 显示装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性显示装置的制造方法，其特征在于，包括：在载体基板上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第一聚酰亚胺类层的步骤；在上述第一聚酰亚胺类层上形成氧化物薄膜晶体管阵列的步骤；在上述氧化物薄膜晶体管阵列上涂敷聚酰亚胺类溶液来形成第二聚酰亚胺类层的步骤；在上述第二聚酰亚胺类层上形成有机发光二极管的步骤；以及去除上述载体基板的步骤，在形成上述氧化物薄膜晶体管阵列的步骤中，以使上述氧化物薄膜晶体管阵列位于上述第一聚酰亚胺类层与上述第二聚酰亚胺类层之间的方式形成上述氧化物薄膜晶体管阵列。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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