[发明专利]遮板及其使用方法在审
| 申请号： | 201680087132.X | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109689924A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | J·罗特;R·梅茨;N·蒂里耶;P·杜陶 | 申请（专利权）人： | 依视路国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 刘敏;雷明 |
| 地址： | 法国沙*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述了具有可折叠遮板的气相沉积设备、系统、以及方法。本披露的实施例可以用于遮盖真空室内的蒸发源、而在不使用时占用空间较小。还披露了其他实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 遮板 气相沉积设备 方法描述 占用空间 可折叠 蒸发源 遮盖 室内 | ||
【主权项】：
1.一种用于在基材上进行气相沉积的设备，所述设备包括：布置在真空室中、或限定其一部分的底板；基材支架，所述基材支架在所述真空室中布置在底板上方并且配置为接纳至少一个基材；在所述真空室中布置在所述基材支架下方、所述底板上方的蒸发源；以及包括至少两个叶片的源遮板，所述至少两个叶片被配置为在第一位置与第二位置之间移动，从而使得在所述第一位置，所述至少两个叶片沿某一维度重叠，并且所述遮板不遮盖所述蒸发源，在所述第二位置，所述至少两个叶片重叠的程度小于在所述第一位置，并且所述遮板遮盖所述蒸发源。
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