[发明专利]磁轴承装置和流体机械系统

摘要

一种磁轴承装置和流体机械系统，能够减小由位置传感器的温度漂移引起的磁悬浮控制的误差。在第一模式下，控制部(40)进行第一工作和第二工作，在第一工作中，控制部控制电磁铁(51、52)的合成电磁力(F)，使得被支承体在预先设定好的移动范围内移动，在第二工作中，控制部基于参照值(R)与在第一工作中的位置传感器(30)的输入输出特性获取温度漂移相关信息，该温度漂移相关信息是表示参照值(R)与位置传感器(30)的输入输出特性之间的相关性的。在第二模式下，控制部(40)进行第三工作和第四工作，在第三工作中，控制部根据位置传感器(30)的检测信号的信号电平控制电磁铁(51、52)的合成电磁力(F)，在第四工作中，控制部基于温度漂移相关信息和第三工作中的参照值(R)补偿第三工作中的位置传感器(30)的输入输出特性。

主权项

1.一种磁轴承装置，其特征在于：包括：磁轴承(20)，其具有多个电磁铁(51、52)，并且构成为利用该多个电磁铁(51、52)的合成电磁力(F)非接触地支承被支承体；位置传感器(30)，其构成为输出具有下述信号电平的检测信号，该信号电平对应于所述被支承体的在预先设定好的位置检测方向上的位置；以及控制部(40)，其具有第一模式和第二模式，并且获取参照值(R)，该参照值(R)与随着所述位置传感器(30)周围的温度变化而产生的该位置传感器(30)的输入输出特性的变化相关，在所述第一模式下，所述控制部(40)进行移动控制工作和信息获取工作，在所述移动控制工作中，所述控制部(40)控制所述多个电磁铁(51、52)的合成电磁力(F)，使得所述被支承体在所述位置检测方向上的预先设定好的移动范围内移动，在所述信息获取工作中，所述控制部(40)基于所述参照值(R)与在该移动控制工作中的位置传感器(30)的输入输出特性获取温度漂移相关信息，该温度漂移相关信息是表示该参照值(R)与该位置传感器(30)的输入输出特性之间的相关性的，在所述第二模式下，所述控制部(40)进行磁悬浮控制工作和温度补偿工作，在所述磁悬浮控制工作中，所述控制部(40)根据所述位置传感器(30)的检测信号的信号电平，控制所述多个电磁铁(51、52)的合成电磁力(F)，在所述温度补偿工作中，所述控制部(40)基于所述温度漂移相关信息和该磁悬浮控制工作中的所述参照值(R)补偿该磁悬浮控制工作中的该位置传感器(30)的输入输出特性。