[发明专利]带电粒子束装置以及试样观察方法

摘要

在通过带电粒子束装置进行原位(In situ)观察的情况下，并非带电粒子束装置的专家的观察者需要一边观察监视器一边保持每时每刻都变化的观察视场，因此需要实时地操作性良好地控制视场调整。为使观察者不需要移动视线而使实况图像(100)与比较图像(101)重叠进行显示。此时，想办法设计一个界面而能够使观察者毫无压力地执行两个图像的重叠。观察者通过按下操作画面上的按钮(57)，使与显示实况图像(100)的第一显示区域(52)的尺寸匹配的比较图像(101)半透明化，并将与实况图像(100)重叠的重叠图像(104)显示在图像显示装置的第一显示区域(52)的位置上。

主权项

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：带电粒子光学系统，其具有带电粒子源、用于对从上述带电粒子源发射的一次带电粒子束进行聚焦的聚焦透镜、用于将上述一次带电粒子束聚焦到试样上的物镜、用于在上述试样上扫描上述一次带电粒子束的偏转线圈以及检测通过向上述试样照射上述一次带电粒子束而产生的二次带电粒子的检测器；操作盘，其接收操作者的控制；图像显示装置，其具有多个显示区域；控制装置，其与上述操作盘和上述图像显示装置相连接，具有装置控制部和显示控制部；以及存储装置，其存储由上述带电粒子光学系统拍摄得到的图像数据，上述装置控制部接收来自上述操作盘的控制并控制上述带电粒子光学系统而获取图像数据，上述显示控制部将从上述带电粒子光学系统获取的实况图像显示在上述图像显示装置的第一显示区域内，将存储于上述存储装置的比较图像显示在上述图像显示装置的第二显示区域内，上述显示控制部接收来自上述操作盘的控制，使与上述第一显示区域的尺寸比配的上述比较图像半透明化，并将重叠在上述实况图像上的重叠图像显示在上述图像显示装置的上述第一显示区域的位置。