[发明专利]离子分析装置有效
| 申请号： | 201680090714.3 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN109923408B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 小寺庆;细井孝辅;志知秀治 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N27/622 | 分类号： | G01N27/622;G01N27/623;G01N27/64;H01J49/06;H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 离子分析装置包括：试样载置部(2)，其用于载置试样(1)；激发束照射部(3)，其从与载置于所述试样载置部(2)的试样(1)的表面垂直的方向对该试样(1)的表面照射激发束；偏转部(6)，其使自所述试样(1)产生的离子的至少一部分向自所述激发束的照射路径偏离的方向飞行；以及分析部(8)，其配置于被所述偏转部(6)偏转了的离子的飞行方向上，根据预定的物理量对该离子进行分离并进行测定。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 分析 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子分析装置，其特征在于，该离子分析装置包括：a)试样载置部，其用于载置试样；b)激发束照射部，其从与载置于所述试样载置部的试样的表面垂直的方向对该试样的表面照射激发束；c)偏转部，其使自所述试样产生的离子的至少一部分向自所述激发束的照射路径偏离的方向飞行；以及d)分析部，其配置于被所述偏转部偏转了的离子的飞行方向上，根据预定的物理量对该离子进行分离并进行测定。
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