[发明专利]一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置

摘要

本发明实施例提供一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域。能够解决待蒸镀基板由于承载固定不牢固，而可能导致在蒸镀过程中由于重力变形而发生脱落的问题。包括支撑架，承载件，承载件包括位于承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，承载件的后端与支撑架固定连接。下压件，下压件的至少一部分设置于承载件的承载面之上，下压件在下压状态下可将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上。将承载件的后端连接固定在支撑架上，在承载件之上设置下压件，下压件的至少一部分位于承载面之上，下压件在下压状态下能够将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上，以降低待蒸镀基板的边缘由承载件的承载面上脱落的风险。

主权项

1.一种基板承载机构，其特征在于，包括，支撑架；承载件，所述承载件包括位于所述承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，所述承载件的后端与所述支撑架固定连接；下压件，所述下压件的至少一部分设置于所述承载件的承载面之上，所述下压件在下压状态下可将所述待蒸镀基板的边缘压紧在所述承载件的承载面上；所述下压件的后端与所述承载件的后端固定连接，所述下压件由弹性材料制成，所述下压件的前端在自由状态下与所述承载件的前端之间留有用于置入所述待蒸镀基板边缘的间隙，所述下压件的前端在下压状态下将 所述蒸镀基板的边缘压紧；还包括拉伸部件，所述拉伸部件连接设置在所述支撑架的后端，用于拉动所述支撑架向后移动。