[发明专利]蒸发源、沉积设备以及用于蒸发有机材料的方法有效
| 申请号： | 201710018205.6 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN106995911B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈兹-坎波;D·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括蒸发坩埚，其中所述蒸发坩埚配置成蒸发所述有机材料；具有一个或多个出口的分布管，其中所述分布管与所述蒸发坩埚流体地连通，并且其中所述分布管可在蒸发期间绕轴旋转；以及用于防护所述有机材料的至少一个侧面防护罩。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 沉积 设备 以及 用于 有机 材料 方法 | ||
【主权项】：
一种用于有机材料的蒸发源，包含：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅配置成蒸发所述有机材料；分布管，具有一个或多个出口，其中所述分布管与所述蒸发坩锅流体地连通，并且其中所述分布管在蒸发期间可绕轴旋转；以及至少一个侧面防护罩，用于防护所述有机材料。
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