[发明专利]微机械压力传感器有效
| 申请号： | 201710022540.3 | 申请日： | 2017-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN107032296B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | F·格拉巴迈尔;E·舍尔克斯;T·林德曼 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01L7/08;B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造压力传感器的方法，所述方法包括步骤：提供具有凹部的基底；将微机械传感器元件在所述基底上置于所述凹部中；将分析电路在所述基底上置于所述凹部旁边；将所述分析电路与所述传感器元件电连接；借助于浇铸模围绕所述凹部覆盖所述基底，使得所述凹部封闭；浇铸在所述基底和所述浇铸模之间的分析电路；并且移除所述浇铸模。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 压力传感器 | ||
【主权项】：
用于制造压力传感器(405)的方法，其中，所述方法包括以下步骤：‑提供(100)具有凹部(110)的基底(105)；‑将微机械传感器元件(115)在所述基底(105)上置于(100)所述凹部(110)中；‑将分析电路(120)在所述基底(105)上置于(100)所述凹部(110)旁边；‑将所述分析电路(120)与所述传感器元件(115)电连接(100)；‑借助于浇铸模(205)围绕所述凹部(110)覆盖(200)所述基底(105)，使得所述凹部(110)封闭；‑浇铸(300)在所述基底(105)和所述浇铸模(205)之间的分析电路(120)；并且‑移除(400)所述浇铸模(205)。
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