[发明专利]基板处理装置和基板处理装置的清洗方法

摘要

本发明提供一种能够将附着到杯状件的周壁部的异物去除的基板处理装置和基板处理装置的清洗方法。实施方式的一技术方案的基板处理装置包括保持部、处理液供给部、第1杯状件、第2杯状件以及清洗液供给部。保持部用于保持基板。处理液供给部用于向基板供给第1处理液和第2处理液。第1杯状件具有周壁部，用于将第1处理液回收于由周壁部形成的回收部中。第2杯状件与第1杯状件相邻地配置，用于对第2处理液进行回收。清洗液供给部用于将清洗液向第1杯状件的回收部供给。在基板处理装置中，通过使由清洗液供给部供给来的清洗液从周壁部向第2杯状件侧溢流，来对周壁部进行清洗。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置包括：保持部，其用于保持基板；处理液供给部，其用于向所述基板供给第1处理液和第2处理液；第1杯状件，其具有周壁部，用于将第1处理液回收于由所述周壁部形成的回收部中；第2杯状件，其与所述第1杯状件相邻地配置，用于回收第2处理液；清洗液供给部，其用于向所述第1杯状件的所述回收部供给清洗液，通过使由所述清洗液供给部供给来的清洗液从所述周壁部向所述第2杯状件侧溢流，来对所述周壁部进行清洗。