[发明专利]一种偏振片标定装置及方法有效
| 申请号： | 201710036210.X | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108318222B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李玉龙;许琦欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种偏振片标定装置及方法，所述偏振片标定装置包括光源单元；偏振片固定单元；探测器，用于探测偏振片的对准标记；检偏单元，设置在偏振片固定单元下方；工作台运动控制单元，用于控制偏振片和检偏单元的水平方向运动；所述偏振片固定单元和检偏单元设置在工作台运动控制单元上，所述偏振片标定方法包括设定一个基准方向；测量并计算偏振片上对准标记连线和基准方向之间的夹角；测量偏振片上偏振轴和基准方向之间的夹角；计算偏振片上对准标记连线和偏振轴之间的夹角。本发明提供的偏振片标定装置及方法能精确标定出对准标记连线和偏振轴之间的夹角，解决了偏振轴和对准标记连线的夹角在经历不同工艺后发生偏差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种偏振片标定装置，其特征在于，包括：光源单元，用于产生非偏振准直光源；偏振片固定单元，用于固定偏振片；探测器，用于探测偏振片的对准标记；检偏单元，设置在偏振片固定单元下方，位置与所述偏振片对应；以及工作台运动控制单元，用于控制偏振片和检偏单元的水平方向运动；所述偏振片固定单元和检偏单元设置在工作台运动控制单元上。
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