[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板及显示装置有效
| 申请号： | 201710038745.0 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN106847926B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 张朝科;刘智;王兵;王辉;徐佳伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 11138 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 滕一斌<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板及显示装置，属于显示器领域。所述薄膜晶体管包括衬底、设置在所述衬底上的栅极、设置在所述栅极上的栅极绝缘层、设置在所述栅极绝缘层上的有源层、设置在所述有源层上的源极和漏极以及设置在所述源极和漏极上的绝缘保护层；所述绝缘保护层包括至少2层间隔设置的无机绝缘层，任意相邻的两层无机绝缘层间设置有1层电极层。该薄膜晶体管能有效降低源漏极和电极间的寄生电容，降低功耗；且该薄膜晶体管能够避免造成显示不均、污渍等问题，且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制作方法 阵列 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，包括衬底、设置在所述衬底上的栅极、设置在所述栅极上的栅极绝缘层、设置在所述栅极绝缘层上的有源层、设置在所述有源层上的源极和漏极以及设置在所述源极和漏极上的绝缘保护层；/n其特征在于，所述绝缘保护层包括至少2层间隔设置的无机绝缘层，任意相邻的两层无机绝缘层间设置有1层电极层；/n所述源极、漏极和所述电极层之间形成多个电容，所述多个电容串联连接。/n
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