[发明专利]复合式稳定移载装置及加磁输送轮

摘要

一种复合式稳定移载装置，用于安装在一个溅镀腔体，包含两个轮座、数个轮组、一个载台单元及一个驱动单元。所述轮组的其中数者间隔设置于其中一个轮座，其余数者间隔设置于另一个轮座。各轮组包括一个枢设于所对应的轮座的轮轴，及一个连接该轮轴的加磁输送轮。该加磁输送轮具有一个轴线、一个环绕该轴线的轮周部、一个环绕该轴线且设置于该轮周部内的磁轨环，及至少一个环绕设置于该轮周部的外周面且具有弹性的摩擦环。该载台单元承靠于所述轮组的摩擦环，并包括一个载台，及两个间隔设置于该载台的磁轨条。该驱动单元能被操作用于驱动所述轮组同步运转。借此不仅能让载台单元与轮组之间的结合性更佳及提高该载台单元的移动稳定性与定位精度。

主权项

一种复合式稳定移载装置，用于安装在一个溅镀腔体，该复合式稳定移载装置包含：两个轮座、数个设置于所述轮座的轮组、一个承靠于所述轮组的载台单元，及一个用于驱动所述轮组的驱动单元；其特征在于：所述轮座，沿一个横方向间隔设置于该溅镀腔体内，各轮座沿一个垂直于该横方向的输送方向延伸；所述轮组，其中数者沿该输送方向间隔设置于其中一个轮座，其余数者沿该输送方向间隔设置于另一个轮座，各轮组包括一个轮轴，枢设于所对应的轮座，及一个加磁输送轮，连接该轮轴，且具有一个轴线、一个环绕该轴线的轮周部、一个环绕该轴线设置于该轮周部内的磁轨环，及至少一个环绕设置于该轮周部的外周面且具有弹性的摩擦环，该磁轨环具有环绕该轴线交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区，各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极；该载台单元，承靠于所述轮组的摩擦环，并包括一个载台，及两个沿该横方向间隔设置于该载台的磁轨条，各磁轨条沿该输送方向延伸且具有沿该输送方向交错间隔设置的数个正磁区及数个负磁区，各正磁区的磁极相异于各负磁区的磁极，所述磁轨条其中一者是对应设置于其中一个轮座的所述轮组，所述磁轨条另一者是对应设置于另一个轮座的所述轮组；及该驱动单元，能被操作用于驱动所述轮组同步运转。