[发明专利]内连线结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201710056223.3 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108346616B | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李鸿志;黄旻暄 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/768 | 分类号： | H01L21/768 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种内连线结构，包括基底、介电层、第一导电图案与第二导电图案。介电层设置于基底上，且具有开口。第一导电图案设置于开口中。第二导电图案设置于第一导电图案上，且暴露出第一导电图案的露出部分。第一导电图案的露出部分具有缺口。 | ||
| 搜索关键词： | 连线 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种内连线结构，其特征在于，包括：一基底；一介电层，设置于该基底上，且具有一开口；一第一导电图案，设置于该开口中；以及一第二导电图案，设置于该第一导电图案上，且暴露出该第一导电图案的一露出部分，其中该第一导电图案的该露出部分具有一缺口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
