[发明专利]适用于单片式外延炉的分离式基座组件

摘要

本发明提供一种适用于单片式外延炉的分离式基座组件，包括分离式基座，所述分离式基座包括：第一部分，第一部分包括主体部及挖空部，挖空部沿主体部的厚度方向贯穿主体部；第二部分，第二部分包括平面部，平面部的形状及尺寸与挖空部的形状及尺寸相同，第二部分与第一部分配合使用，第二部分与第一部分配合时，平面部嵌入挖空部内，且平面部的上表面与挖空部外侧邻接的主体部的上表面相平齐。通过将基座设计成分离式的两部分，使得组合两部分后的基座无需通孔或顶针，就能实现现有传片设备的要求；同时，组合后的基座呈现出完整的圆盘状，完整的圆盘状将有利于基片温度的均一，提高外延后基片的正表明纳米形貌，同时减小外延后基片的背面沉积。

主权项

1.一种适用于单片式外延炉的分离式基座组件，其特征在于，所述分离式基座组件包括分离式基座，所述分离式基座包括：第一部分，所述第一部分包括主体部及挖空部，所述挖空部沿所述主体部的厚度方向贯穿所述主体部；第二部分，所述第二部分包括平面部，所述平面部的形状及尺寸与所述挖空部的形状及尺寸相同，所述第二部分与所述第一部分配合使用，所述第二部分与所述第一部分配合时，所述平面部嵌入所述挖空部内，且所述平面部的上表面与所述挖空部外侧邻接的所述主体部的上表面相平齐。