[发明专利]存储器件以及包括该存储器件的电子设备有效
申请号: | 201710060821.8 | 申请日: | 2017-01-25 |
公开(公告)号: | CN107026169B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 沈揆理;高宽协;姜大焕 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/115 | 分类号: | H01L27/115;H01L27/11551;G11C16/02;G11C16/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 屈玉华 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明构思提供一种存储器件、包括该存储器件的电子设备以及制造该存储器件的方法,在该存储器件中,存储单元布置为具有小的电特性变化并从而提高可靠性。在存储器件中,在不同水平的存储单元可以用具有不同厚度的间隔物覆盖,这可以控制存储单元的电阻特性(例如设置电阻)并且减小存储单元的电特性的竖直变化。此外,通过调整间隔物的厚度,存储单元的感测裕度可以增加。 | ||
搜索关键词: | 存储 器件 以及 包括 电子设备 | ||
【主权项】:
一种存储器件,包括:提供在基板上的第一电极线层,所述第一电极线层包括在第一方向上延伸并且彼此间隔开的多条第一电极线;提供在所述第一电极线层上的第二电极线层,所述第二电极线层包括在不同于所述第一方向的第二方向上延伸并且彼此间隔开的多条第二电极线;提供在所述第二电极线层上的第三电极线层,所述第三电极线层包括在所述第一方向上延伸并且彼此间隔开的多条第三电极线;提供在所述第一电极线层和所述第二电极线层之间的第一存储单元层,所述第一存储单元层包括布置在所述多条第一电极线与所述多条第二电极线的相应交叉处的多个第一存储单元;提供在所述第二电极线层和所述第三电极线层之间的第二存储单元层,所述第二存储单元层包括布置在所述多条第二电极线与所述多条第三电极线的相应交叉处的多个第二存储单元;第一间隔物,覆盖所述多个第一存储单元的每个的侧表面;以及第二间隔物,覆盖所述多个第二存储单元的每个的侧表面,其中所述多个第一存储单元和所述多个第二存储单元的每个包括在向上方向或向下方向上堆叠的选择器件、电极和可变电阻图案,并且所述第一间隔物具有不同于所述第二间隔物的厚度的厚度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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