[发明专利]设备监控系统及设备监控方法在审
| 申请号： | 201710061231.7 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108345275A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 何慧斌;黄晶 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种设备监控系统及设备监控方法。本发明提供的设备监控系统，包括云数据采样模块、云数据储存分析模块、生产线动态调整模块以及反馈和控制系统模块；其中，所述云数据采样模块对生产线设备的监控数据进行采集；所述云数据储存分析模块对采集到的监控数据进行储存和分析后，发出一调整数据；所述生产线动态调整模块接收由所述云数据储存分析模块发送的调整数据对生产线设备的监控进行修正；所述反馈和控制系统模块实现与外部系统之间的通讯。由此实现对生产线设备的监控进行动态调整，提高生产效率，加快了对设备稳定性表现的反馈，提高了机台的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 设备监控系统 生产线设备 分析模块 数据储存 动态调整模块 控制系统模块 数据采样模块 调整数据 监控数据 设备监控 反馈 采集 机台 动态调整 生产效率 外部系统 对设备 监控 储存 发送 修正 通讯 表现 分析 | ||
【主权项】：
1.一种设备监控系统，其特征在于，包括云数据采样模块、云数据储存分析模块、生产线动态调整模块以及反馈和控制系统模块；其中，所述云数据采样模块对生产线设备的监控数据进行采集；所述云数据储存分析模块对采集到的监控数据进行储存和分析后，发出一调整数据；所述生产线动态调整模块接收由所述云数据储存分析模块发送的调整数据对生产线设备的监控进行修正；所述反馈和控制系统模块实现与外部系统之间的通讯。
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