[发明专利]悬臂装置、检查装置、分析表面的方法和微图案形成方法有效
| 申请号： | 201710061606.X | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN107064564B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 李京美;朴贞珠;李时镛;金垠成;权承哲;金尚郁;崔荣珠 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;韩国科学技术院 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 屈玉华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了形成微图案的方法、基板表面检查装置、用于原子力显微镜的悬臂装置、分析半导体基板的表面的方法、以及探针尖端。该形成微图案的方法包括在半导体基板上形成钉扎图案；在钉扎图案之间的间隔中形成中性图案层；以及通过使用原子力显微镜(AFM)检查引导层的表面，该引导层包括钉扎图案和中性图案层。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂 装置 检查 分析 表面 方法 图案 形成 | ||
【主权项】：
一种基板表面检查装置，包括：能够容纳基板的支撑物；具有悬臂和探针尖端的测量单元，所述探针尖端在所述悬臂的端部并且能够接触所述基板；能够改变所述基板和所述探针尖端的相对位置的驱动单元；能够辐照光到所述悬臂上的光源单元；能够由被所述悬臂反射的光而获得所述基板的表面的信息的传感器；和确定单元，由被所述传感器感测的所述基板的所述表面的所述信息而确定所述基板的所述表面是否正常，其中所述探针尖端包括具有用聚合物改性的表面的探针尖端基底。
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