[发明专利]气体传感器及其制造方法有效
申请号: | 201710063478.2 | 申请日: | 2017-02-03 |
公开(公告)号: | CN108387617B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 蔡明志;何羽轩 | 申请(专利权)人: | 华邦电子股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;G01N27/02;G01N27/22 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 中国台湾台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种气体传感器及其制造方法,包括:衬底、输出层、传感层以及纳米多孔聚合物膜。输出层配置于衬底上。传感层配置于输出层上。纳米多孔聚合物膜配置于传感层上。本发明提供的气体传感器及其制造方法具有极佳的耐用度与功能表现。 | ||
搜索关键词: | 气体 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种气体传感器,包括:衬底;输出层,配置于所述衬底上;传感层,配置于所述输出层上;以及纳米多孔聚合物膜,配置于所述传感层上。
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