[发明专利]配线基板、MEMS装置、液体喷射头以及液体喷射装置有效
申请号: | 201710063639.8 | 申请日: | 2017-02-03 |
公开(公告)号: | CN107020843B | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 高部本规;田中秀一;松本泰幸;麻田宏司;平井荣树 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J29/00 | 分类号: | B41J29/00 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种抑制了贯穿配线的位置偏移,且抑制了贯穿配线的高电阻化的配线基板、MEMS装置、液体喷射头以及液体喷射装置。本发明为在至少一个面上具有表面配线(31)的配线基板(30),且具备:贯穿孔(303),其贯穿配线基板(30);贯穿配线(33),其被形成在贯穿孔(303)中,且与表面配线(31)连接,贯穿孔(303)的内表面为粗糙面,贯穿配线(33)的电阻在表面配线(31)的电阻以下。 | ||
搜索关键词: | 配线基板 mems 装置 液体 喷射 以及 | ||
【主权项】:
一种配线基板,其特征在于,其为在至少一个面上具有表面配线的配线基板,所述配线基板具备:贯穿孔,其贯穿所述配线基板;贯穿配线,其被形成在所述贯穿孔中,且与所述表面配线连接,所述贯穿孔的内表面为粗糙面,所述贯穿配线的电阻在所述表面配线的电阻以下。
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