[发明专利]无掩膜实时微纳打码系统有效

专利信息
申请号: 201710064032.1 申请日: 2017-02-04
公开(公告)号: CN106773552B 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 梅文辉;汪孝军;廖平强 申请(专利权)人: 深圳市优盛科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 代理人: 冯汉桥
地址: 518000 广东省深圳市南山区西丽街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种无掩膜实时微纳打码系统,本系统包括一连续对FPC基材进行激光微纳打码的激光直写曝光装置,卷对卷上下料装置和实时打码监测反馈系统,通过上述结构不需要掩膜板即可以在整卷的FPC基材上任意指定位置进行微纳打码,并且可以对每个打码图形进行实时监测,提高系统的可靠性,本系统不需要掩膜板,也不需要与FPC基材有接触,就可以很快的完成对FPC基材上每个阵列图形的编码,基材不会有刮伤等二次破坏的可能,提高产品的质量,大大提高了产品生产的效率,降低了生产的成本。
搜索关键词: 无掩膜 实时 微纳打码 系统
【主权项】:
1.一种无掩膜实时微纳打码系统,其特征在于:包括:打码数据生成服务器,按照固定的编码规则,对FPC基材上不同位置的工程图形来实时进行编码,并生成若干具体的不相重复的编码图形;光学引擎机构,用于将实时生成的编码图形实时光刻在FPC基材上;对位机构,用于识别FPC基材上用于确定编码图形位置的标记点,从而使光学引擎机构能够将编码图形光刻在FPC基材上的标记点处,且所述对位机构识别一组标记点,打码数据生成服务器即生成一组相应的编码图形,光学引擎机构即刻将该编码图形光刻在FPC基材上;卷到卷上下料机构,用于实现FPC基材的输送及收集,其包括用于将FPC基材送入光学引擎机构进行打码的卷进上料机构及将打码完成的FPC基材回收的卷出卸料机构,自监测反馈机构,用于检测FPC基材上的编码图形是否准确,精密运动平台,用于控制光学引擎机构和对位机构的精准移动,所述光学引擎机构通过基板安装于精密运动平台上,且光学引擎机构的光学镜头下方设有分光镜,分光镜下方设有照明环形灯,所述自监测系统装置包括第一视觉装置、第二视觉装置及所述分光镜,所述第一视觉装置及第二视觉装置分别设置于分光镜两侧,所述分光镜位于光学引擎机构的光学镜头的光轴上,且通过第一视觉装置识别从数据服务器生成的编码图形;通过第二视觉装置识别光刻在FPC基材上的编码图形。
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