[发明专利]基板保持模块、基板处理装置及基板处理方法有效
| 申请号： | 201710064401.7 | 申请日： | 2017-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN107081673B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 谷泽昭寻;小林贤一;赤泽贤一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24B37/34;B24B57/02;B24B37/10;H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种存取自由度较高的基板保持模块、基板处理装置及基板处理方法。提供一种能够接收由搬送机器人搬送的基板的基板保持模块。该基板保持模块具有：底座，所述底座具有用于保持基板的保持机构；罩，所述罩用于覆盖所述底座；及移动机构，所述移动机构使所述罩以离开所述底座的方式移动。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 模块 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板保持模块，该基板保持模块能够接收由搬送机器人搬送的基板，所述基板保持模块的特征在于，具有：底座，所述底座具有用于保持基板的保持机构；罩，所述罩用于覆盖所述底座；及移动机构，所述移动机构使所述罩以离开所述底座的方式移动。
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