[发明专利]真空泵及被使用于该真空泵的静翼部有效
申请号: | 201710066806.4 | 申请日: | 2017-02-07 |
公开(公告)号: | CN107178508B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 大立好伸;前岛靖;高阿田勉 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张雨;刘林华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种真空泵及被用于其中的静翼部,具备防止由拉深加工引起的裂缝的高刚性的固定翼作为构成真空泵的固定翼,由此适合于实现作为真空泵的耐久性的提高。作为不由于将前述支承侧壁部成形的拉深加工而在前述支承侧壁部处产生裂缝的条件,在前述拉深加工前,前述静翼部的将通过前述拉深加工成为前述支承侧壁部的部分被设定成满足下述式A,S×L×t1≥V…式A;S:将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的前述旋转体的径向的宽度;L:将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的前述旋转体的周向的长度;t1:将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的板厚;S×L×t1:将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的体积;V:防止由拉深加工引起的裂缝所必需的支承侧壁部的体积。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 使用 静翼部 | ||
【主权项】:
一种真空泵,前述真空泵具备涡轮分子泵部,前述涡轮分子泵部借助被设置于旋转体的动翼部和被固定于静止体的静翼部将气体移送,其特征在于,前述静翼部具有以既定角度倾斜的固定翼和将该固定翼支承的边缘部,前述固定翼的侧端部具备从前述固定翼的倾斜根部向其倾斜末端形成的支持侧壁部,并且,前述固定翼的侧端部经由该支承侧壁部被支承于前述边缘部,作为不由于将前述支承侧壁部成形的拉深加工而在前述支承侧壁部处产生裂缝的条件,在前述拉深加工前,前述静翼部的将通过前述拉深加工成为前述支承侧壁部的部分被设定成满足下述式A,S×L×t1≥V…式AS:将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的前述旋转体的半径方向的宽度,L:将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的前述旋转体的圆周方向的长度,t1:将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的板厚,S×L×t1:将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的体积,V:拉深加工后的支承侧壁部的体积。
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