[发明专利]平面研磨装置有效
| 申请号： | 201710067615.X | 申请日： | 2017-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN107052985B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 小田桐茂;井上裕介;小池喜雄;吉原秀明 | 申请（专利权）人： | 快递股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/08;B24B37/28;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;孙明轩 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平面研磨装置，其特征在于，通过防止静止部侧的线缆与旋转部的接触、或者旋转部侧的线缆与静止部的接触来防止静止部侧或者旋转部侧的线缆的损伤，能够实现稳定的研磨加工。在将与旋转接头(60)的旋转侧接头部(63)连接的线缆(53)覆盖的位置，设置有在相互间保持空间部(75)地配设的第1线缆罩(73)和第2线缆罩(74)，在两个线缆罩(73、74)之间的空间部(75)内收纳有与旋转侧接头部(63)连接的线缆(53)。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种平面研磨装置，其特征在于，具有：机体；定盘，其用于对工件进行研磨，并以旋转自如的方式支承于机体；传感器单元，其用于在研磨工件时对与工件或定盘有关的数据进行测定，并被设置为与定盘一体地旋转；测定单元，其设置于机体，并通过线缆而与传感器单元连接；旋转接头，其夹设于机体侧的静止部与定盘侧的旋转部之间，并具有与静止部侧连结的静止侧接头部和与旋转部侧连结的旋转侧接头部；一次侧线缆，其将旋转接头的静止侧接头部与测定单元连接；以及二次侧线缆，其将旋转接头的旋转侧接头部与传感器单元连接，在将与旋转接头的静止侧接头部或者旋转侧接头部连接的线缆覆盖的位置，设置有在相互间保持空间部地配设的第1线缆罩和第2线缆罩，在两个线缆罩之间的空间部内收纳有与静止侧接头部或者旋转侧接头部连接的线缆。
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