[发明专利]光刻装置以及物品制造方法有效
| 申请号： | 201710078450.6 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN107092163B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 米川雅见 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻装置以及物品制造方法。所述光刻装置将原版的图案转印到基板。所述光刻装置包括被布置为围绕所述基板和所述原版中的一者的侧面的电极结构、以及被构造为向所述电极结构供给交流电压的电源。所述电极结构包括彼此电绝缘的多个电极组，各个电极组包括彼此电连接的多个电极，并且所述电源向所述多个电极组供给具有不同相位的交流电压。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻装置，其将原版的图案转印到基板，所述光刻装置包括：电极结构，其被布置为围绕所述基板和所述原版中的一者的侧面；以及电源，其被构造为向所述电极结构供给交流电压，其中，所述电极结构包括彼此电绝缘的多个电极组，各个电极组包括彼此电连接的多个电极，并且所述电源向所述多个电极组供给具有不同相位的交流电压。
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