[发明专利]准分子激光退火装置用基板支撑模块有效

专利信息
申请号: 201710080337.1 申请日: 2017-02-15
公开(公告)号: CN107154368B 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 沈亨基;李基雄;金戊一;金利镐 申请(专利权)人: AP系统股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 代理人: 罗银燕
地址: 韩国京畿道华城市东*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及准分子激光退火装置用基板支撑模块,本发明为准分子激光退火装置用基板支撑模块,上述准分子激光退火装置用基板支撑模块包括:工作台,用于放置基板;支架,以向上下方向贯通上述工作台的方式设置,用于将基板装载于工作台上或从工作台上卸载基板;以及升降驱动部,用于使上述支架升降,上述准分子激光退火装置用基板支撑模块的特征在于,上述工作台被划分为规定区域,各个区域形成相互独立的真空吸入区域,上述真空吸入区域从上述工作台的中央部分开始依次进行真空吸入,从而从上述基板的中心部开始依次与上述工作台相接触。
搜索关键词: 准分子激光 退火 装置 用基板 支撑 模块
【主权项】:
一种准分子激光退火装置用基板支撑模块,包括:工作台,用于放置基板;支架,以向上下方向贯通工作台的方式设置,用于将基板装载于工作台上或从工作台上卸载基板;以及升降驱动部,用于使上述支架升降,上述准分子激光退火装置用基板支撑模块的特征在于,上述工作台被划分为规定区域,各个区域形成相互独立的真空吸入区域,上述真空吸入区域以从上述工作台的中央部分开始依次进行真空吸入的方式形成,从而从上述基板的中心部开始依次与上述工作台相接触。
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