[发明专利]准分子激光退火工序用脱氧装置

摘要

本发明为准分子激光退火工序用脱氧装置，上述准分子激光退火工序用脱氧装置包括；壳体；脱氧模块，与上述壳体的一侧相结合，用于向基板上部侧供给非活性气体，恒定地维持上述基板上部侧的氧浓度，上述脱氧模块包括：盖板，形成有非活性气体注入口；第一板，以面接触的方式与上述盖板相结合；第二板，形成有非活性气体的扩散路径；多个螺杆，在上述螺杆的外周面设有螺杆管道；第一空间部，用于混合上述非活性气体；以及第三板，用于向上述基板上部侧供给上述非活性气体。

主权项

一种准分子激光退火工序用脱氧装置，包括：壳体；脱氧模块，与上述壳体的一侧相结合，用于向基板上部侧供给非活性气体，恒定地维持上述基板上部侧的氧浓度，上述准分子激光退火工序用脱氧装置的特征在于，上述脱氧模块包括：盖板，形成有非活性气体注入口；第一板，以面接触的方式与上述盖板相结合；第二板，以面接触的方式与上述第一板相结合，包括扩散路径，上述扩散路径与上述非活性气体注入口相连通，用于使注入的上述非活性气体扩散；多个螺杆，头部与上述盖板相结合，在上述螺杆的外周面设有螺杆管道，以贯通上述第一板和第二板的方式结合有本体部，使在上述扩散路径扩散的上述非活性气体沿着上述螺杆管道扩散；以及第三板，以面接触的方式与上述第二板相结合，形成有用于混合沿着上述螺杆管道扩散的上述非活性气体的第一空间部，以向上述基板上部侧供给上述非活性气体。