[发明专利]柔性器件的制备方法有效
| 申请号： | 201710082315.9 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN106876247B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 陈超 | 申请（专利权）人： | 纳晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 310052 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性器件的制备方法。该制备方法包括以下步骤：利用固液转换材料形成承载基板；在承载基板上设置柔性基板；对承载基板进行固液转换处理，将承载基板与柔性基板分离，其中，固液转换材料为第一固液转换材料或第二固液转换材料，第一固液转换材料为正电流变液或正磁流变液，第二固液转换材料为负电流变液或负磁流变液。由于该制备方法中利用固态的固液转换材料形成承载基板，然后在承载基板上设置柔性基板，最后对承载基板进行固液转换处理，使固液转换材料由固态变为液态，将承载基板与柔性基板分离，从而实现了承载基板与柔性基板之间简单的分离，且上述分离过程不会对柔性基板及其表面器件造成影响，保证了柔性器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1，利用固液转换材料形成承载基板；/nS2，在所述承载基板上设置柔性基板；/nS3，对所述承载基板进行固液转换处理，将所述承载基板与所述柔性基板分离，/n其中，所述固液转换材料为第一固液转换材料，所述第一固液转换材料为正磁流变液，/n所述第一固液转换材料包括固体粒子和载液，所述固体粒子为硅钢微粒，所述载液包括凡士林油、润滑油、煤油、烷烃类化合物、甘油、乙二醇、胶体状磁流体与石墨颗粒的未聚合的环氧树脂基体中的任一种或多种，/n所述第一固液转换材料还包括添加剂，所述添加剂选自表面活性剂、水、酸、碱与盐类物体中的一种或多种。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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