[发明专利]用于显影设备的排气箱及黄光制程显影设备

摘要

本发明提供了一种用于显影设备的排气箱，包括箱体，所述箱体的其中一侧表面上设有均匀分布的排气孔，在箱体上设有与箱体内腔连通的连接管。本发明还提供了一种黄光制程显影设备，包括多个相互拼接而成的显影腔室，在显影腔室中设有传送机构，在每个显影腔室的同一位置上分别设有与显影腔室连通的排气管，所述排气管上设有风量调节阀，还包括所述的用于显影设备的排气箱，每个显影腔室内分别设有一个与排气管连接的排气箱，所述排气孔与显影腔室的顶部相对，连接管与排气管相连。与现有技术相比，避免单一排气孔排气造成显影蒸汽流向紊乱现象，改善黄光制成后因显影排气设计不合理造成的光阻破孔及光阻线路断线现象。

主权项

一种用于显影设备的排气箱，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)的其中一侧表面上设有均匀分布的排气孔(2)，在箱体(1)上设有与箱体(1)内腔连通的连接管(3)。