[发明专利]宽波段、大量程激光功率计检定装置

摘要

本发明提出的是宽波段、大量程激光功率计检定装置。激光辐射源包括633nm激光器、532nm激光器和1064nm激光器，在633nm激光器光路上装有第一翻转反射镜，在532nm激光器光路上装有第二翻转反射镜，在1064nm激光器光路上装有第三翻转反射镜，翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑和激光分束片，激光分束片反射的激光照向监测探测器上，经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪后又经过第二可变光阑，直至照射在宽波段标准激光功率计传递给宽波段标准待检定激光功率计上。本发明能够实现宽波段、大量程激光功率计的计量检定。适宜作为激光功率检定的装置使用。

主权项

1.宽波段、大量程激光功率计的检定装置，包括宽波段、大量程、高精度、高稳定的激光功率计检定校准，包括激光辐射源、可翻转反射镜、光阑、激光功率分束片、监测探测器、激光衰减器组、激光功稳仪、宽波段标准激光功率计、待检定激光功率计和激光光路，其特征在于：激光辐射源（0）包括633nm激光器（1）、532nm激光器（2）和1064nm激光器（3），在633nm激光器光路上装有第一可翻转反射镜（1.1），在532nm激光器光路上装有第二可翻转反射镜（2.1），在1064nm激光器光路上装有第三可翻转反射镜（3.1），可翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑（4）和激光分束片（5），激光分束片反射的激光照向监测探测器（6）上，没有被激光分束片反射的激光通过激光衰减器组（7），激光衰减器组包括设置在前侧的可调占空比式激光衰减器（7.1）和设置在后侧的中性激光衰减片（7.2），经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪（8）后又经过第二可变光阑（9），直至照射在宽波段标准激光功率计（10）上，然后采用待检定激光功率计（11）替换宽波段标准激光功率计，激光直接照射到待检定激光功率计上；通过第一可翻转反射镜、第二可翻转反射镜和第三可翻转反射镜的打开和放下，调整不同波长的激光沿同一位置穿过第一可变光阑，实现不同波长激光辐射源的切换，实现宽波段激光功率计的校准；光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片后，一部分沿光路反射到监测探测器，另一部分沿光路透射到激光衰减器组；其中，633nm激光器经光路使第三可翻转反射镜放下，经光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；其中，532nm激光器经光路入射到第二可翻转反射镜，使第二可翻转反射镜打开，经第二可翻转反射镜反射后，沿光路入射到第三可翻转反射镜，使第三可翻转反射镜打开，经第三可翻转反射镜反射后，沿光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；其中，1064nm激光器经光路入射到第一可翻转反射镜，使第一可翻转反射镜打开，第二可翻转反射镜放下，沿光路入射到第三可翻转反射镜，使第三可翻转反射镜打开，经第三可翻转反射镜反射后，沿光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；透射到激光衰减器组的激光辐射沿光路入射到激光功稳仪；透过激光功稳仪的激光辐射沿光路穿过第二可变光阑；穿过第二可变光阑的激光辐射入射到宽波段标准激光功率计或待检定激光功率计；激光辐射源至少包括532nm、633nm和1064nm三个波长点，光谱上包含了从可见绿光、可见红光到不可见近红外激光辐射三个波长，通过更多的激光器和可翻转反射镜组合可实现更多波长的激光功率计检定。