[发明专利]用于侦测错误事件的方法在审
| 申请号： | 201710085777.6 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN107957926A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 薛悦诚;刘育玮;李良伦;林祖强;陈淳钰;刘家宏 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | G06F11/30 | 分类号： | G06F11/30;G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 王允方,丛芳 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于侦测错误事件的方法，其侦测方法包含下列操作。通过处理器根据多个步骤对齐第一数据与第二数据，其中第一数据与第二数据关联于用于制造多个半导体装置的设备；通过处理器根据第一数据决定第一虚拟区域；通过处理器根据第二数据决定第二虚拟区域；以及通过显示器显示第一虚拟区域与第二虚拟区域的比较结果，以分辨是否有错误事件存在于制造工艺中。本发明所提供的方法可改善同时侦测大量设备错误事件的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 侦测 错误 事件 方法 | ||
【主权项】：
一种侦测方法，其特征在于，包含：通过处理器根据多个步骤对齐第一数据与第二数据，其中所述第一数据与所述第二数据关联于用于制造多个半导体装置的设备；通过所述处理器根据所述第一数据决定第一虚拟区域；通过所述处理器根据所述第二数据决定第二虚拟区域；以及通过显示器显示所述第一虚拟区域与所述第二虚拟区域的比较结果，以分辨是否有错误事件存在于所述设备。
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