[发明专利]坩埚、蒸镀准备装置、蒸镀设备及蒸镀方法在审
| 申请号： | 201710086738.8 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN108456855A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 申永奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部形成有开口，所述坩埚还包括密封盖和弹性件，所述密封盖与所述坩埚本体形成可拆卸的密封连接，以使所述密封盖能够打开或密封所述开口，所述弹性件设置在所述密封盖和所述坩埚本体之间，且所述弹性件在所述密封盖密封所述开口时处于压缩状态。相应地，本发明还提供一种蒸镀准备装置、蒸镀设备和蒸镀方法，本发明能够减少待蒸镀材料的变质，减少人体与待蒸镀材料的直接接触。 | ||
| 搜索关键词： | 密封盖 坩埚本体 蒸镀 弹性件 坩埚 开口 蒸镀材料 蒸镀设备 准备装置 密封 可拆卸的 密封连接 压缩状态 变质 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部形成有开口，其特征在于，所述坩埚还包括密封盖和弹性件，所述密封盖与所述坩埚本体形成可拆卸的密封连接，以使所述密封盖能够打开或密封所述开口，所述弹性件设置在所述密封盖和所述坩埚本体之间，且所述弹性件在所述密封盖密封所述开口时处于压缩状态。
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