[发明专利]一种高密度五氧化二钽膜料制备方法有效
| 申请号： | 201710093722.X | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN106904967B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 白秋云;石全均;欧阳智 | 申请（专利权）人： | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/645 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 赵正寅 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高密度五氧化二钽膜料制备方法，将五氧化二钽粉末放入真空石墨炉中热压成型；包括以下步骤：(1)采用机械泵抽真空到1×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 高密度 氧化 二钽膜料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高密度五氧化二钽膜料制备方法，其特征在于，将五氧化二钽粉末放入真空石墨炉中热压成型；包括以下步骤：(1)采用机械泵抽真空到1×103～5×103Pa，再打开扩散泵抽真空到1×10‑3～5×10‑3Pa；然后充入氩气进行保护，升温到1300～1600℃；(2)保持温度处于1300～1600℃，并加压到18～25MPa，保温时间25～35min，在保温期间通惰性气体氩气保护，使烧结环境状态压力在1×103～1×104Pa之间；(3)以3～7℃/min的冷却速度冷却至室温，即得高密度五氧化二钽膜料。
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