[发明专利]一种BZO玻璃及制备方法、QLED器件及制备方法在审
申请号: | 201710129206.8 | 申请日: | 2017-03-06 |
公开(公告)号: | CN108529894A | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 张东华;向超宇;李乐;辛征航;张滔 | 申请(专利权)人: | TCL集团股份有限公司 |
主分类号: | C03C17/245 | 分类号: | C03C17/245;C03C15/00;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 王永文;刘文求 |
地址: | 516006 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种BZO玻璃及制备方法、QLED器件及制备方法,方法包括步骤:步骤A、制作BZO玻璃;步骤B、采用酸溶液对BZO玻璃中的BZO薄膜进行腐蚀;步骤C、对经步骤B处理后的BZO玻璃进行切割,得到所需尺寸的BZO玻璃。本发明采用化学气相沉积法沉积BZO薄膜,然后采用酸溶液对BZO薄膜进行腐蚀,以缓和薄膜表面尖刺,从而提高后续薄膜厚度的均匀性,改善尖刺刺穿薄层造成短路的问题,减少尖刺与相邻薄层界面引起的缺陷,减少载流子俘获中心,进而达到提高QLED器件光电性能的目的。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 制备 薄膜 尖刺 酸溶液 化学气相沉积 腐蚀 载流子俘获 薄膜表面 光电性能 相邻薄层 短路 均匀性 薄层 刺穿 沉积 切割 缓和 制作 | ||
【主权项】:
1.一种BZO玻璃的制备方法,其特征在于,包括:步骤A、制作BZO玻璃;步骤B、采用酸溶液对BZO玻璃中的BZO薄膜进行腐蚀;步骤C、对经步骤B处理后的BZO玻璃进行切割,得到所需尺寸的BZO玻璃。
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