[发明专利]低温泵、低温泵吸留气体量推测装置及其推测方法有效
| 申请号： | 201710134343.0 | 申请日： | 2017-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN107218195B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 高桥走 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种有助于恰当地设定低温泵再生间隔的指标。低温泵吸留气体量推测装置具备：极限压力确定部(110)，根据表示低温泵真空容器内的真空度的真空测量信号(V)，确定低温泵真空容器的极限压力(P)；及吸留气体量定量化部(112)，具备使极限压力(P)与吸留气体量推测值(G)建立关联的吸留气体量定量化函数(116)，并且将极限压力(P)转换成吸留气体量推测值(G)。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 吸留气 体量 推测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种低温泵，其特征在于，具备：低温泵真空容器；真空计，设置于所述低温泵真空容器，以便测量所述低温泵真空容器内的真空度，并输出真空测量信号；以及吸留气体量推测部，其与所述真空计连接，以便从所述真空计接收所述真空测量信号，并且所述吸留气体量推测部具备极限压力确定部和吸留气体量定量化部，所述极限压力确定部根据所述真空测量信号确定所述低温泵真空容器的极限压力，所述吸留气体量定量化部具备使所述极限压力与吸留气体量推测值建立关联的吸留气体量定量化函数，并且将所述极限压力转换成所述吸留气体量推测值。
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