[发明专利]一种基板加热炉温度监测系统及方法有效

专利信息
申请号: 201710134519.2 申请日: 2017-03-08
公开(公告)号: CN106885476B 公开(公告)日: 2019-08-27
发明(设计)人: 向鑫;郭知广;侯本象;王允杰;杨帆 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: F27D21/00 分类号: F27D21/00;G01J5/00
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 230011 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种基板加热炉温度监测系统及方法,涉及显示装置制造技术领域,为解决对基板的温度的监测不准确的问题。所述基板加热炉温度监测系统包括:温度监测器,所述温度监测器设置在用于取放基板的机械手臂的叉齿上,所述温度监测器用于监测经基板加热炉加热后、位于所述叉齿上的所述基板的温度。所述基板加热炉温度监测系统中,温度监测器直接对基板的温度进行监测,以直接获得经基板加热炉加热后的基板的温度,获得的基板的温度更加准确,从而改善对基板的温度的监测的准确性。本发明提供的基板加热炉温度监测系统及方法用于显示装置的制造。
搜索关键词: 一种 加热炉 温度 监测 系统 方法
【主权项】:
1.一种基板加热炉温度监测系统,其特征在于,包括温度监测器,所述温度监测器设置在用于取放基板的机械手臂的叉齿上,所述温度监测器用于监测经基板加热炉加热后、位于所述叉齿上的所述基板的温度;所述基板上环绕显示区的基板空白区内设置有非透明测温块;所述温度监测器包括红外探头和红外探测模块;所述红外探头用于将所述非透明测温块辐射的红外光汇聚到所述红外探测模块上,所述红外探测模块将红外光转换为与所述基板的温度对应的信号,以监测所述基板的温度;所述基板为阵列基板,所述非透明测温块的材料与所述阵列基板的栅极的材料、所述阵列基板的源漏层的材料和所述阵列基板的对位标记的材料中的一种相同;或者,所述基板为彩膜基板,所述非透明测温块的材料与所述彩膜基板的黑矩阵的材料和所述彩膜基板的对位标记的材料中的一种相同。
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