[发明专利]基板检查装置及基板检查方法有效
| 申请号： | 201710144128.9 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN107192913B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 笹岑敬一郎;斋藤智一;土田宪吾 | 申请（专利权）人： | 雅马哈精密科技株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02;G01R31/12;G01R27/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邸万奎 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的基板检查方法，对电路基板上形成的导体图案通过检查探针流过电流来测电特性值，基于该电特性值的测量值判定电路基板的合格与否，包括以下步骤：在测量值为容许范围内的情况下判定为合格，在没有被判定为合格的情况下反复进行测量，在测量次数达到了上限的情况下判定为不合格，同时在第1次的测量值偏离容许范围的情况下，改变对检查探针的电流的方向进行第2次的测量，在该第2次的测量值偏离容许范围的情况下，以测量出第1次的测量值和第2次的测量值之中的偏离容许范围的差较小一方的测量值时的电流的方向进行第3次以后的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查方法，在对电路基板上形成的导体图案，基于通过检查探针流过的电流测量电特性值，并基于该电特性值的测量值判定所述电路基板的合格与否的基板检查方法中，包括以下步骤：在第1次的测量值偏离容许范围的情况下，改变对所述检查探针的电流的方向进行第2次的测量，在该第2次的测量值偏离所述容许范围的情况下，以测量出所述第1次的测量值和所述第2次的测量值之中的偏离容许范围的差较小一方的测量值时的电流的方向进行第3次以后的测量。
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