[发明专利]具有薄膜图案的基板及形成薄膜图案于基板的方法

摘要

本发明公开一种具有薄膜图案的基板及形成薄膜图案于基板的方法，所述具有薄膜图案的基板包含：一基板；至少一薄膜图案层，配置于该基板上；及一周边图案层，配置于该基板上，无缝地环绕于该薄膜图案层。本发明运用光阻掀离制程的技术手段，来实现一次光罩、无蚀刻或一次蚀刻的技术功效，并达到无缝薄膜图案制作的特殊技术功效。

主权项

一种形成薄膜图案于基板的方法，其特征在于，包含以下步骤：于一基板上形成一基底色层；于具有该基底色层的该基板上形成一掀离光阻层；以一光罩贴合于该基板上；曝光；移除未被曝光的该掀离光阻层，并形成一图案空间；移除该掀离光阻层所构成的该图案空间下方的该基底色层；于具有该图案空间的该基板上形成至少一薄膜层；及移除该掀离光阻层以形成一薄膜图案，使该薄膜图案与未被移除的该基底色层形成相邻接的无缝紧密结构。