[发明专利]显影排泡装置以及显影机有效
| 申请号： | 201710153680.4 | 申请日： | 2017-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN107045269B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 李飞 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种显影排泡装置以及显影机，其中，该显影排泡装置包括储液箱；回收管路，所述回收管路的第一端用于回收显影液且第二端与所述储液箱连通；聚泡器，所述聚泡器用于收集所述储液箱内的气泡；以及，排泡组件，所述排泡组件用于将所述聚泡器内的气泡排出。本发明技术方案中，储液箱内设置有收集气泡的聚泡器，并通过排泡组件能够将聚泡器内的气泡排出，以降低显影液中的气泡含量。经喷嘴将显影液涂覆于玻璃基板时，显影液中气泡含量较少，从而能够防止涂覆显影液时因气泡造成的涂覆不均匀，因而能够大幅降低玻璃基板的不良率，进而降低液晶面板的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 装置 以及 | ||
【主权项】：
1.一种显影排泡装置，其特征在于，包括：储液箱；回收管路，所述回收管路的第一端用于回收显影液且第二端与所述储液箱连通；聚泡器，所述聚泡器用于收集所述储液箱内的气泡；以及，排泡组件，所述排泡组件用于将所述聚泡器内的气泡排出；其中，所述排泡组件包括抽气单元以及排泡管路，所述排泡管路的第一端与所述聚泡器连通且所述排泡管路的第二端与所述抽气单元连接；所述抽气单元包括用于回收清洗液的清洗箱以及用于排出所述清洗箱内清洗液的排液管路，所述排泡管路的第二端与所述排液管路连通，且所述清洗箱的位置低于所述聚泡器的位置。
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