[发明专利]一种阵列基板以及制作方法

摘要

本发明实施例公开了一种阵列基板以及其制作方法，所述阵列基板包括多个第一薄膜晶体管和多个第二薄膜晶体管；第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管形成于衬底基板的上方；第一薄膜晶体管的有源层为低温多晶硅，所述第二薄膜晶体管的有源层为氧化物半导体；第一薄膜晶体管位于阵列基板的周边电路区，第二薄膜晶体管位于所述阵列基板的显示区；第一薄膜晶体管的栅极和第二薄膜晶体管的栅极位于不同层，且第一薄膜晶体管的源漏电极和第二薄膜晶体管的源漏电极位于同层。本发明解决了显示面板中同时形成金属氧化物薄膜晶体管和低温多晶硅薄膜晶体管时，两种类型薄膜晶体管各膜层不兼容的问题，提高了显示面板的电学性能和稳定性。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板；多个第一薄膜晶体管和多个第二薄膜晶体管；所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管形成于所述衬底基板的上方；所述第一薄膜晶体管的有源层为低温多晶硅，所述第二薄膜晶体管的有源层为氧化物半导体；所述第一薄膜晶体管位于所述阵列基板的周边电路区，所述第二薄膜晶体管位于所述阵列基板的显示区；所述第一薄膜晶体管的栅极和所述第二薄膜晶体管的栅极位于不同层，且所述第一薄膜晶体管的源漏电极和所述第二薄膜晶体管的源漏电极位于同层。