[发明专利]靶材组件的制造方法

摘要

本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供背板以及焊接于背板上的初始靶坯，初始靶坯包括与背板和初始靶坯的焊接面相对的溅射面、以及位于焊接面和溅射面之间的第一侧面，且初始靶坯凸出于焊接面；沿背板指向初始靶坯的方向，对第一侧面进行车削加工，车削加工后的初始靶坯作为靶坯，靶坯与背板构成靶材组件。车削加工所采用的刀具对第一侧面进行切削时，初始靶坯的受力点位于靠近背板一侧的表面，随着车削加工的进行，可以避免出现初始靶坯凸出于焊接面的部分成块脱落的问题，也就是说，可以降低初始靶坯发生崩角的概率，从而提高靶坯的加工质量，进而提高靶材组件的成品率，降低报废率。

主权项

1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：提供背板以及焊接于所述背板上的初始靶坯，所述初始靶坯包括与所述背板和初始靶坯的焊接面相对的溅射面、以及位于所述焊接面和溅射面之间的第一侧面，且所述初始靶坯凸出于所述焊接面；沿所述背板指向所述初始靶坯的方向，对所述第一侧面进行车削加工，所述车削加工后的初始靶坯作为靶坯，所述靶坯与所述背板构成靶材组件；所述背板包括与所述焊接面相对的背面、以及位于所述焊接面和背面之间的第二侧面；对所述第一侧面进行车削加工后，所述第一侧面与所述第二侧面齐平。