[发明专利]靶坯及其加工方法在审
| 申请号： | 201710159600.6 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN108620813A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;李力平 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶坯及其加工方法，加工方法包括：提供靶坯，靶坯具有溅射面以及与溅射面相对的焊接面；对焊接面进行机械加工，在焊接面上形成平面螺纹，平面螺纹的牙型为三角形。本发明对靶坯的焊接面进行机械加工，在焊接面上形成平面螺纹且平面螺纹的牙型为三角形；一方面，通过平面螺纹，可以增加焊接面的粗糙度、均匀度以及附着力，另一方面，平面螺纹的牙型为三角形，在将靶坯与背板进行焊接时，可以使平面螺纹嵌入至背板内；因此结合以上两个方面，在将靶坯与背板进行焊接以形成靶材组件时，使靶坯和背板之间的焊接强度得到提高，有效防止靶坯和背板之间发生焊接不良或脱焊的问题，从而提高所形成靶材组件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 平面螺纹 焊接 背板 焊接面 牙型 靶材组件 机械加工 溅射面 附着力 加工 焊接不良 粗糙度 均匀度 对靶 脱焊 嵌入 | ||
【主权项】：
1.一种靶坯的加工方法，其特征在于，包括：提供靶坯，所述靶坯具有溅射面以及与所述溅射面相对的焊接面；对所述焊接面进行机械加工，在所述焊接面上形成平面螺纹，所述平面螺纹的牙型为三角形。
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