[发明专利]一种镁合金表面耐蚀涂层制备方法

摘要

一种镁合金表面耐蚀涂层制备方法，包括以下步骤（1）镁合金除氢；（2）ALD工作腔准备；（3）ALD制备耐蚀涂层；（4）ALD工作腔还原。采用原子层外延技术，利用制备过程的自限性（吸附自限性和反应自限性），在镁合金表面制备厚度均匀性好、组分控制精确、致密性好、与镁合金基体的结合性强的各类氧化物、氮化物、复合耐蚀涂层。制备中，能在任意形状表面制备涂层，且温度是唯一的工艺参数，易控制和工艺稳定性好。

主权项

一种镁合金表面耐蚀涂层制备方法，其特征是包括以下步骤：（1）镁合金除氢：控制气氛炉炉温160~200℃，保温1~2小时；（2）ALD工作腔准备：确认供气压力，干燥空气气瓶压力为0.45~0.55MPa，反应气源气瓶压力为0.2MPa；设置加热器、腔体、吹扫、热阱温度分别为100℃、100℃、100℃、300℃，开启真空泵、流量计；待温度稳定，关闭加热器、真空泵、空气流量计，充气至压力为760torr；打开工作腔体，放入镁合金试样，关闭腔门，开启真空泵；（3）ALD制备耐蚀涂层：耐蚀层为任一氧化物、任一氮化物薄膜；薄膜制备过程涉及两种反应气源，其过程为：根据薄膜种类，设置加热器温度、吹扫温度、热阱温度、泵管温度、工艺压力；进入配方页面，设置各气源注气/吹扫时间，气源注气的顺序及总循环次数；第一种反应气源注气，在镁合金表面物理吸附，吹扫未被吸附第一种气体；第二种反应气源注气在镁合金表面，与第一反应气源进行化学反应，吹扫未被吸附第二种气体；其吸附过程和反应过程均具有自限性，以保证薄膜化学组分的分子尺度的精确性；薄膜的厚度是通过循环次数控制，单次循环薄膜厚度一般增加0.05~0.1nm，以保证薄膜整体厚度的纳米级精确性；（4）ALD工作腔还原：关闭反应气源，设置加热器、腔体、吹扫、热阱温度分别为100℃、100℃、100℃、300℃；待温度稳定，关闭真空泵、流量计、加热器，充气至压力为760torr；打开工作腔体，取出镁合金试样，关闭腔门。