[发明专利]使用激光烧蚀的太阳能电池的接触形成

摘要

描述了使用激光的太阳能电池的接触的形成。制造背接触式太阳能电池的方法包括在单晶衬底上方形成聚晶材料层。所述方法还包括在聚晶材料层上方形成电介质材料堆叠。所述方法还包括通过激光烧蚀在电介质材料堆叠中形成多个接触孔，以及在多个接触孔中形成导电接触，其中每个接触孔暴露聚晶材料层的一部分。

主权项

1.一种太阳能电池，包括：硅衬底；布置在硅衬底上方的电介质材料；布置在电介质材料上方的多晶硅或非晶硅层，所述多晶硅或非晶硅层具有交替的P型掺杂区和N型掺杂区、以及多个重铸多晶硅或重铸非晶硅标记；布置在多晶硅或非晶硅层上方的电介质堆叠；穿过电介质堆叠的多个导电接触，其中所述多个导电接触中的每个导电接触与多晶硅或非晶硅层中的多个重铸多晶硅或重铸非晶硅标记中的一个对齐，以及其中电介质堆叠包括氮化硅层，以及其中电介质堆叠还包括布置在多晶硅或非晶硅层和氮化硅层之间的二氧化硅层。