[发明专利]透射型靶和设有透射型靶的X射线发生管有效
申请号: | 201710167652.8 | 申请日: | 2014-12-05 |
公开(公告)号: | CN107068522B | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 山田修嗣;塚本健夫;小仓孝夫;吉武惟之;五十岚洋一 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01J35/02 | 分类号: | H01J35/02;H01J35/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 曾琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本公开内容涉及透射型靶和设有透射型靶的X射线发生管。透射型靶包括靶层和被配置为支撑该靶层的透射基板。透射基板具有彼此面对的一对表面,并且由多晶金刚石形成。在透射基板中,所述一对表面中的一个表面包括具有第一平均晶粒直径的多晶金刚石,第一平均晶粒直径小于与该表面相对的另一个表面上所包括的多晶金刚石的第二平均晶粒直径。靶层由所述一对表面中的任何一个表面支撑。 | ||
搜索关键词: | 透射型 金刚石 平均晶粒 透射基板 多晶 发生管 彼此面对 表面相对 支撑 配置 | ||
【主权项】:
1.一种透射型靶,包括:靶层;和透射基板,所述透射基板被配置为支撑所述靶层,其中,所述透射基板包括第一表面和与第一表面相反的第二表面,并且由多晶金刚石形成,其中,第一表面和第二表面分别具有第一平均晶粒直径和与第一平均晶粒直径不同的第二平均晶粒直径,其中,所述靶层被支撑在第一表面和第二表面中的一个上,其中,所述第一表面和第二表面中的一个是第一表面,第一表面和第二表面中的另一个是第二表面,以及其中,第一平均晶粒直径小于第二平均晶粒直径,使得由于热应力导致的裂缝在所述透射基板中的发展能够被减小。
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