[发明专利]有机发光二极管蒸镀膜补偿的方法

摘要

本发明涉及一种有机发光二极管蒸镀膜补偿的方法，涉及真空蒸镀技术领域，解决了现有技术中存在的生产过程中可操作性差、需要进行多次参数的更改和生产效率低的技术问题。本发明的方法是通过在晶振片不同的寿命周期蒸镀时，采用不用的Z值，以及相应的调整修正值之后在进行下一个寿命周期的蒸镀，能够使生产过程中需要更改的参数大大减少，并且实际膜厚与晶体管的频率之间的变化趋势趋于线性，使产品的品质更可靠，能够提高产品的合格率和生产效率。

主权项

1.一种有机发光二极管蒸镀膜补偿的方法，其特征在于，包括以下步骤：S10：将Z值设定为Z₀，Z₀为大于1且小于99的整数；将修正值T设定为与Z₀对应的初始修正值T₀；设定目标膜厚D后从晶振片的初始寿命周期开始进行蒸镀；S20：获得步骤S10中的实际膜厚d₀，所述实际膜厚d₀与目标膜厚D相同；S30：进行晶振片的第n个寿命周期蒸镀，获得相应的实际膜厚d_n，若实际膜厚d_n与目标膜厚D满足下列定义式：其中，n为大于等于1的整数；D为目标膜厚；d_n为晶振片的第n个寿命周期的实际膜厚；Q为1.5％；则将Z值更改为Z_n，Z_n为大于1且小于99的整数，且Z_n不等于Z₀；其中，Z_n为晶振片的第n个寿命周期的Z值；Z₀为晶振片的初始寿命周期的Z值；并将修正值T更改为与Z_n对应的初始修正值T_n0；S40：进行晶振片的第n+1个寿命周期蒸镀，直至最后一个寿命周期结束为止。