[发明专利]激光晶化装置及方法

摘要

本发明公开了一种激光晶化装置及方法。一种激光晶化装置，包括激光振荡器、工作台和反射单元。工作台被配置为支撑基底，基底上设置有目标膜。激光振荡器被配置为将入射激光束照射到目标膜上。工作台被配置为移动基底，使得入射激光束扫描目标膜。入射激光束从目标膜反射以生成反射激光束。反射单元包括定位在反射激光束的路径处的至少两个反射镜。反射单元被配置为通过与入射激光束的路径不同的多条路径将反射激光束两次或更多次地重新照射到目标膜上。

主权项

一种激光晶化装置，包括：激光振荡器；工作台，所述工作台被配置为支撑基底，所述基底上设置有目标膜，其中所述激光振荡器被配置为将入射激光束照射到所述目标膜上，其中所述工作台被配置为移动所述基底，使得所述入射激光束扫描所述目标膜，并且其中所述入射激光束从所述目标膜反射以生成反射激光束；以及反射单元，所述反射单元包括定位在所述反射激光束的路径处的至少两个反射镜，其中所述反射单元被配置为经由与所述入射激光束的路径不同的多条路径将所述反射激光束两次或更多次地重新照射到所述目标膜上。