[发明专利]靶坯的加工方法有效
| 申请号： | 201710183223.X | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN108620815B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;徐礼升 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶坯的加工方法，包括：提供材料为钛的初始靶坯，初始靶坯包括第一焊接面、与第一焊接面相对的溅射面、以及位于第一焊接面与溅射面之间的侧面；对溅射面进行第一车削加工，在溅射面中心处形成中心孔；沿中心孔指向侧面的方向，对溅射面进行第二车削加工，使溅射面为向第一焊接面凹陷的弧面。本发明通过在溅射面中心处形成中心孔，使第二车削加工所采用的刀具从中心孔处开始加工，由于钛的硬度较高，因此相比直接对溅射面进行车削加工的方案，本发明可以避免刀具的刀尖直接与溅射面接触，从而可以避免刀具发生崩刃或破损的问题，且还有利于提高靶坯的外观质量和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射面 车削加工 焊接面 中心孔 刀具 中心处 加工 刀尖 侧面 凹陷 崩刃 弧面 心孔 破损 指向 | ||
【主权项】：
1.一种靶坯的加工方法，其特征在于，包括：提供材料为钛的初始靶坯，所述初始靶坯包括第一焊接面、与所述第一焊接面相对的溅射面、以及位于所述第一焊接面与所述溅射面之间的侧面；对所述溅射面进行第一车削加工，在所述溅射面中心处形成中心孔；沿所述中心孔指向所述侧面的方向，对所述溅射面进行第二车削加工，使所述溅射面为向所述第一焊接面凹陷的弧面。
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