[发明专利]一种硅片翻转冲洗装置在审
| 申请号： | 201710188309.1 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN106944394A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 袁西冰;赵驯峰;李长虹 | 申请（专利权）人： | 贵州大学 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/02;F26B21/00 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所52100 | 代理人： | 刘楠 |
| 地址： | 550025 贵州*** | 国省代码： | 贵州;52 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅片翻转冲洗装置，包括冲洗箱、喷气盒和热风机，所述冲洗箱上设置有一个冲洗箱门，所述冲洗箱的一侧设置有一个电动机箱，所述电动机箱的外侧安装有一个控制面板，所述冲洗箱的底部设置有一个出水口，所述喷水管的一侧与水泵连接，所述喷水管的另一侧嵌入到冲洗箱内部，且喷水管的另一侧管壁上设置有若干个喷嘴，所述冲洗箱内部还安装有一个一号转轴，所述一号转轴和二号转轴通过传动带传动连接，所述冲洗箱的顶部安装有一个热风机，所述热风机通过管道与冲洗箱顶部内侧的喷气盒连接。该硅片翻转冲洗装置设有两个转轴，可以安装更多的硅片，并且清洗箱内部的喷头分布较均匀，清洗效果较好，工作效率高，用水量少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 翻转 冲洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片翻转冲洗装置，包括冲洗箱(1）、冲洗箱门(2）、电动机箱(3）、控制面板(4）、冲洗箱门锁扣(5）、电动机(6）、传动带(7）、支撑架(8）、集水箱(9）、出水口(10）、二号转轴(11）、清洗液箱(12）、抽水管(13）、喷水管(14）、一号转轴(15）、喷气盒(16）、热风机(17）、喷嘴(18）和水泵(19），其特征在于：所述冲洗箱(1）上设置有一个冲洗箱门(2），所述冲洗箱(1）的一侧设置有一个电动机箱(3），所述电动机箱(3）的外侧安装有一个控制面板(4），所述冲洗箱门(2）上设置有一个冲洗箱门锁扣(5），所述电动机箱(3）内安装有一个电动机(6），所述电动机(6）的一侧设置有一根二号转轴(11），所述电动机箱(3）的底部安装有两根支撑架(8），所述冲洗箱(1）的底部设置有一个出水口(10），所述出水口(10）的底部设置有一个集水箱(9），所述冲洗箱(1）的另一侧设置有一个清洗液箱(12），所述清洗液箱(12）的底部安装有两根支撑架(8），所述抽水管(13）的一侧嵌入清洗液箱(12）内部，所述抽水管(13）的另一侧与水泵(19）连接，所述喷水管(14）的一侧与水泵(19）连接，所述喷水管(14）的另一侧嵌入到冲洗箱(1）内部，且喷水管(14）的另一侧管壁上设置有若干个喷嘴(18），所述冲洗箱(1）内部还安装有一个一号转轴(15），所述一号转轴(15）和二号转轴(11）通过传动带(7）传动连接，所述冲洗箱(1）的顶部安装有一个热风机(17），所述热风机(17）通过管道与冲洗箱(1）顶部内侧的喷气盒(16）连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于贵州大学，未经贵州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710188309.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
