[发明专利]层叠膜及其制造方法在审
申请号: | 201710196806.6 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN107425133A | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 伊藤丰 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 赵雁,金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够以高水准防止水蒸气透过、且在用作有机EL元件等电子设备的支撑基板时能够长期抑制暗斑产生的层叠膜。该层叠膜是在树脂基材上至少层叠有气体阻隔层和无机聚合物层的层叠膜,无机聚合物层表面的算术平均高度(Sa)为20nm以下,在试样室内收容含有无机聚合物层的层叠膜,一边使25℃、85%RH的加湿空气在试样室内流通,一边在85℃对试样室内进行1小时加热时的无机聚合物层单位质量的NH3气体产生量为5000质量ppm以下。 | ||
搜索关键词: | 层叠 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种层叠膜,是在树脂基材上至少层叠有气体阻隔层和无机聚合物层的层叠膜,无机聚合物层表面的算术平均高度Sa为20nm以下,在试样室内收容含有无机聚合物层的层叠膜,一边使25℃、85%RH的加湿空气在试样室内流通,一边在85℃对试样室内进行1小时加热时的无机聚合物层单位质量的NH3气体产生量为5000质量ppm以下。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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