[发明专利]层叠膜及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201710196806.6 申请日: 2017-03-29
公开(公告)号: CN107425133A 公开(公告)日: 2017-12-01
发明(设计)人: 伊藤丰 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52;H01L51/56
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 赵雁,金世煜
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种能够以高水准防止水蒸气透过、且在用作有机EL元件等电子设备的支撑基板时能够长期抑制暗斑产生的层叠膜。该层叠膜是在树脂基材上至少层叠有气体阻隔层和无机聚合物层的层叠膜,无机聚合物层表面的算术平均高度(Sa)为20nm以下,在试样室内收容含有无机聚合物层的层叠膜,一边使25℃、85%RH的加湿空气在试样室内流通,一边在85℃对试样室内进行1小时加热时的无机聚合物层单位质量的NH3气体产生量为5000质量ppm以下。
搜索关键词: 层叠 及其 制造 方法
【主权项】:
一种层叠膜,是在树脂基材上至少层叠有气体阻隔层和无机聚合物层的层叠膜,无机聚合物层表面的算术平均高度Sa为20nm以下,在试样室内收容含有无机聚合物层的层叠膜,一边使25℃、85%RH的加湿空气在试样室内流通,一边在85℃对试样室内进行1小时加热时的无机聚合物层单位质量的NH3气体产生量为5000质量ppm以下。
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